法國半導體業者擴產受限,加速推動相關製程水回收效率
法國產業雜誌新工廠(UsineNouvelle)本(6)月25日報導,位於法國阿爾卑斯山山谷Grésivaudan之半導體廠區-意法半導體(STMicroelectronics,ST)與Soitec,合計消耗當地逾八成之工業用自來水,其中,ST去(2025)年用水量約達500萬立方公尺,Soitec則接近100萬立方公尺。由於晶片製造過程需大量超純水清洗晶圓,因此兩家公司長期維持高用水需求。隨著擴產計畫推進,加上2022年法國嚴重乾旱,引發外界對產業用水的關注與質疑。
儘管地方政府強調當地地下水資源充沛,目前並未出現實質用水衝突,但在社會輿論壓力下,主管機關已限制供水量進一步增加。未來兩家企業若要持續擴充產能,必須在不增加自來水取用量的前提下提升生產能力。
為此,ST與Soitec刻正加速布局製程用水回收技術。ST推動「Reclaim」計畫,目標是將工業廢水再製為超純水,並將回收水占比提升至60%;Soitec則在無塵室內直接回收部分晶圓沖洗用水,預計2030年前將水回收率提高至75%。
然而,廢水排放量下降後,排放至附近河川之氮、磷及銅等污染物濃度可能提高,引發環保團體對水體污染風險之疑慮。(資料來源:經濟部國際貿易署) |